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金属覆盖方法之一。在高真空容器中适量充入惰性气体(如氩),并仍维持相当高的真空度,接通负电压,使金属蒸发源(阳极)与镀件(阴极)之间产生辉光放电,建立起低电压气体放电的等离子区和阴极区;通电蒸发源使金属气化,金属蒸气进入等离子区后,在高速电子的轰击下部分电离,金属离子在电场作用下获得加速,射在镀件上而沉积成膜。离子镀膜与镀件(不论导体或非导体)的结合强度特别高,且在工艺过程中不产生废液,不污染环境。