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又称“超声加工”。利用超声波振荡的动能,使工作头(如加工孔用的圆棒、磨光用的平片等)振动,带动工作头和工件之间的液体和磨料,冲击工件以获得切除作用的加工方法。能在玻璃、陶瓷、宝石、硬质合金等硬、脆的材料上进行穿孔、表面磨光或形成各种复杂凹面等多种形式的加工。